NF EN 62047-3:2006 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 3 : éprouvettes d'essai normalisée en couche mince pour l'essai de traction
2006NF EN 62047-3:2006 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 3 : éprouvettes d'essai normalisée en couche mince pour l'essai de traction