NF EN 62047-2:2006 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince
2006NF EN 62047-2:2006 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 2 : méthodes d'essais de traction des matériaux en couche mince