NF EN 62047-8:2011
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8 : méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces

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NF EN 62047-8:2011

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2011

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Association Francaise de Normalisation

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• 2011 NF EN 62047-8:2011 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 8 : méthode d'essai de la flexion de bandes en vue de la mesure des propriétés de traction des couches minces