NF EN 62047-21:2014
Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21 : méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince

Standard No.

NF EN 62047-21:2014

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2014

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Association Francaise de Normalisation

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NF EN 62047-21:2014

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• 2014 NF EN 62047-21:2014 Dispositifs à semiconducteurs - Dispositifs microélectromécaniques - Partie 21 : méthode d'essai relative au coefficient de Poisson des matériaux MEMS en couche mince