VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018 Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flaechenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen fuer die Formmessung
2018VDI/VDE 2655 BLATT 1.3-2018 Optische Messtechnik an Mikrotopographien - Kalibrieren von flaechenhaft messenden Interferometern und Interferenzmikroskopen fuer die Formmessung